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川商エレクトロニクス株式会社が、「セミコン・ジャパン2005」に出展し、セミナーも開催

2005.11.22
HYT真空中In-Situパーティクルモニタ イタリアSpot-Optics社製「OPTINO」
 JFE商事グループの川商エレクトロニクス株式会社では、2005年12月7日(水)~9日(金)の3日間、幕張メッセで開催される「セミコン・ジャパ ン2005」に、米国・HACH ULTRA ANALYTICS社製の計測器「HYT 真空中In-Situパーティクルモニタ」と伊・Spot-Optics社製の高精度波面センサー「OPTINO」を出展します。
 「HYT 真空中In-Situパーティクルモニタ」は、真空プロセス中の発塵をリアルタイムで連続的に監視するセンサーシステムで、半導体製造工程に加え、昨今で は特にFPD(Flat Panel Display)への製造工程でも使用されつつあります。
 また、伊・Spot-Optics社製の「OPTINO」は、研究所レベルでの光学系の設計、開発、品質管理の他、シリコンウェファーの平坦度測定や研磨工程でウェファーに発生する歪の測定の可能な高精度波面センサーです。
 なお、開催日2日目の12月8日(木)13:30から、「HYT 真空中In-Situパーティクルモニタ」のメカニズムについて詳しく説明するセミナーを開催いたします。ご来場の際にぜひセミナーにお立ち寄りいただけ れば幸いです。

【セミナー開催概要】

■テーマ 「HYT 真空中 In-Situパーティクルモニタ」のメカニズムと応用例
■日時 12月8日(木) 
13:30~ 第一部 基礎編(川商エレクトロニクスによる)
14:30~ 第二部 応用編(HACH ULTRA ANALYTICS社による)
■出展ブース
/セミナー会場
幕張メッセ 6B-011(ホール6)/ ルーム3(ホール6)
■セミナー参加費

無料(当日直接会場にお越しください。)

【出展製品の概要】
■製品名 :HYT真空中In-Situパーティクルモニタ
■製造社名 :米国・HACH ULTRA ANALYTICS社
■特長:
 同計測器の基本システムは、コントローラ、センサー、データ処理システム(PC、ソフトウェア含む)から構成されます。センサーは測定原理の違いから、 ダークフィールドセンサーとブライトフィールドセンサーに分けられます。両タイプとも、光源にレーザーダイオードを用いています。
 ダークフィールドセンサーの測定原理は光散乱方式で、1個の粒子がレーザー光線を通過すると、光散乱が1回起こり、90度の散乱光を受光素子で受光して 電気信号(電圧パルス)に変換します。変換された信号を増幅後処理し、粒子計数を行います。
 ブライトフィールドセンサーはひかりしゃ光遮へいの原理を応用しています。レーザー光源は1つで、レーザービームを2分割し、2個の受光素子で別々に受 光します。粒子がレーザー光線を通過することによる光の減衰量を電気信号(電圧パルス)に変換します。プラズマ光等の入射により、各受光素子から出力され る信号(電圧パルス)が同時に変化し位相が合っていれば、ノイズとしてキャンセルし、位相の合っていない信号(電圧パルス)のみを粒子の信号として取り込 みます。その後、変換された信号を増幅処理し、粒子計数を行います。
 この計測器は、全世界で累計1,000台以上の納入実績があり、1997年に国内販売を開始以来、多くの半導体デバイスメーカーと半導体製造装置メーカーから高い評価をいただいています。

■製品名 :高精度波面センサー『OPTINO』
■製造社名 :伊・Spot-Optics s.r.l.社
■特長:
 研究所レベルでの光学系(※1)の設計、開発、品質管理の他、シリコンウェファー等の平坦度測定や研磨歪の測定に適した高精度波面センサーです。
 物体に与えられたストレスや気温変化などの要因による、光波面の歪みや収差(※2)を検出し補正する為に利用されているシャックハルトマン理論(※3) を応用したセンサーで、球面・非球面レンズ、光学フィルターなどの設計開発から品質管理の他、平面ミラー、シリコンウェファーなどの品質管理に最適です。

※1 光学系・・・各種レンズ、フィルター、ミラー、プリズム等、光を透過もしくは反射する事により、その機能を発揮するものを総括して表現します。
※2 収差・・・光学系で理想的な結像からのズレを収差という。収差は光学系の凹凸や歪みなどレンズの形状に起因するものと、レンズを構成している材料に起因す るものがある。波面センサーは、光を線ではなく波として解析し、波面収差を測定します。
※3 シャックハルトマン理論・・・天体望遠鏡の大口径レンズ、大口径反射鏡に生じた自重や気温変化による歪み、収差を補正するために考え出されました。

【川商エレクトロニクス株式会社 概要】

社名 川商エレクトロニクス株式会社
所在地 東京都台東区蔵前2-7-14 JFE蔵前ビル
TEL:03-5823-5071 FAX:03-5823-5070
取締役社長 杉山龍彦
資本金

1億円

設立

平成14年2月26日

売上高 74億円(平成16年度)
事業内容 電子機器の国内及び輸出販売

【セミコン・ジャパン2005概要】
■開催日:2005年12月7日(水)~12月9日(金)
■会場:幕張メッセ
■アクセス:
電車でお越しの場合:JR京葉線・武蔵野線「海浜幕張駅」から徒歩5分
車でお越しの場合 :湾岸習志野I.C.(東関東自動車道)から約5分
■主催:SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International